Vakuumplettering i udvælgelsen af sputtermålmaterialer har været et problem for folk på nuværende tidspunkt, da sputterbelægningen, især udviklingen af magnetronforstøvningsbelægningsfærdighederne, kan siges for enhver information for at være i stand til at målrette materialefremstilling af tynde film ved ionbombardement, fordi ved at sputtere målmateriale i processen med belægningen til typen af substrat, har det en vigtig effekt på kvaliteten af sputterfilmen. Derfor er målmaterialets krav strengere.Her vil vi lære om sputtermålets rolle i vakuumbelægning sammen med redaktøren af Beijing Relaxation
一、Udvælgelsesprincip og klassificering af målmateriale
Ved udvælgelsen af målmateriale skal der ud over brugen af selve filmen vælges, bør følgende problemer også overvejes:
Problem 1. Ifølge membranens brug og ydeevnekrav er det nødvendigt, at målmaterialet opfylder de tekniske krav til renhed, magasinindhold, komponentens ensartethed, bearbejdningsnøjagtighed og så videre.
Opgave 2. Målmaterialet skal have god mekanisk styrke og kemisk stabilitet efter filmdannelse;
Opgave 3. Det er nødvendigt for filmmaterialet at generere sammensat film let med reaktionsgassen som den reaktive sputterfilm;
Opgave 4. Det er nødvendigt at indstille målet og matrixen til at være stærk, ellers bør filmmaterialet med god vedhæftning til matrixen tages i brug, først sputter et lag bundfilm og forbereder derefter det nødvendige filmlag;
Spørgsmål 5. Ud fra forudsætningen om at opfylde filmens ydeevnekrav, jo mindre forskellen mellem den termiske udvidelseskoefficient for målet og matrixen er, jo bedre, for at reducere indflydelsen af den termiske spænding af sputterfilmen;
Udarbejdelse af flere almindeligt anvendte mål
(1) cr mål
Chrom som sputterfilmmateriale er ikke kun let at kombinere med basismaterialet har høj vedhæftning, og krom- og oxid-CrQ3-film, dets mekaniske egenskaber, syrebestandighed og termisk stabilitet er bedre.
Beijing Ruichi High-tech Co., Ltd. beskæftiger sig hovedsageligt med: titanium target zirconium target, aluminium target, nikkel target, chrom target, wolfram target, molybdæn target, kobber target, silicium target, niob target, tantal target, titanium-silicium target mål, titanium-niobium-legeringsmål, titanium-wolframlegeringsmål, titanium-zirconiumlegeringsmål, nikkel-chromlegeringsmål, silica-aluminiumlegeringsmål, nikkel-vanadiumlegeringsmål, chrom-aluminium-silicium ternært legeringsmål, Ti al si ternært legeret målmateriale, udbredt i dekoration / hård overflade og funktionel belægning, arkitektonisk glas, fladskærm / optisk fotoelektrisk, optisk lagring, elektronik, trykning og andre erhverv.
Indlægstid: Jun-02-2022