Mange brugere overvejer ikke køb af mål fra et professionelt synspunkt, så hvad skal man være opmærksom på, når man køber mål?Lad os bede Xiaobian fra Beijing Ruichi om at påpege de forhold, der kræver opmærksomhed, når de køber mål.
For det første, for målet, er renheden en af dens vigtigste funktionelle indikatorer, og renheden af målet har stor indflydelse på funktionen af den senere produktfilm.Hvert produkt har også forskellige krav til målets renhed.
For det andet urenhedsindholdet af individuelle elementer i målet.Efter en række målbehandling er urenhederne i målfaststoffet og oxygen og vanddamp i porerne de vigtigste forureningskilder til de aflejrede film.På grund af de forskellige anvendelser af mål er kravene til forskellige urenhedsindhold i mål med forskellig anvendelse også forskellige.For eksempel stiller rene aluminium- og aluminiumslegeringsmål, der anvendes i halvlederindustrien, nu særlige krav til indholdet af alkalimetaller og radioaktive grundstoffer.
Densitet er også et af de vigtige præstationsindekser for målet. I den tekniske proces af målet, for at reducere porerne i målfaststoffet og forbedre funktionen af den sputterede film, kræves det generelt, at målet har en høj densitet.Målets hovedkarakteristiske tæthed har stor indflydelse på sputteringshastigheden og påvirker filmens elektriske og optiske funktioner.Jo højere måltæthed, jo bedre er filmens funktion.
Til sidst kornstørrelsen og kornfordelingen.Normalt er målmaterialet polykrystallinsk, og kornstørrelsen kan variere fra mikron til millimeter.For det samme mål er forstøvningshastigheden for finkornet mål hurtigere end for grovkornet mål;Tykkelsen af filmene, der afsættes ved målsputtering med lille kornstørrelsesforskel (ensartet dispersion) er mere ensartet.
Indlægstid: 10-jun-2022