Vedligeholdelseskendskab til sputtermål

Mange venner om vedligeholdelse af målet, der er mere eller mindre spørgsmål, for nylig er der også mange kunder høring om vedligeholdelse af målet relaterede problemer, lad redaktør af RSM for os at dele om sputtering mål vedligeholdelse viden.

　　Hvordan skal sputtermål vedligeholdes?

　　1、 Målvedligeholdelse

For at undgå kortslutning og buedannelse forårsaget af urent hulrum i sputteringsprocessen, er det nødvendigt med jævne mellemrum at fjerne de sputtere, der er akkumuleret i midten og på begge sider af sputtersporet, hvilket også hjælper brugerne til kontinuerligt at sputtere ved høj effekttæthed.

　　2、 Mållagring

Vi anbefaler, at brugerne opbevarer målet (uanset om det er metal eller keramik) i vakuumemballage, især skal monteringsmålet opbevares i vakuum for at forhindre, at oxidationen af ​​fittingslaget påvirker tilpasningskvaliteten.Hvad angår emballage af metalmål, foreslår vi, at de som minimum pakkes i rene plastikposer.

　　3、 Mål rengøring

Det første trin er at rengøre med en fnugfri blød klud vædet i acetone;

Det andet trin ligner det første trin, rengøring med alkohol;

Trin 3: Rengør med deioniseret vand.Efter rengøring med deioniseret vand placeres målet i ovnen og tørres ved 100 ℃ i 30 minutter.Det anbefales at bruge "fnugfri klud" til at rense oxid- og keramiske mål.

Det fjerde trin er at vaske målet med argon med højt tryk og lav luftfugtighed for at fjerne eventuelle urene partikler, der kan forårsage lysbue i sputtersystemet.

　　4、 Kortslutning og tæthedskontrol

Efter at målet er installeret, skal hele katoden kontrolleres for kortslutning og tæthed.Det anbefales at vurdere om der er kortslutning i katoden ved at bruge en modstandsmåler og en megger.Efter at have bekræftet, at der ikke er kortslutning i katoden, kan der udføres vandlækageinspektion, og der kan indføres vand i katoden for at afgøre, om der er vandlækage.

　　5、 Emballage og transport

Alle mål er pakket i vakuumforseglede plastikposer med fugttæt middel.Den ydre pakke er generelt en trækasse med anti-kollisionslag rundt for at beskytte målet og bagplanet mod beskadigelse under transport og opbevaring.