Sputterede molybdænmål er blevet meget brugt i elektronikindustrien, solceller, glasbelægning og andre områder på grund af deres iboende fordele.Med den hurtige udvikling af moderne teknologi inden for miniaturisering, integration, digitalisering og intelligens vil brugen af molybdænmål fortsætte med at stige, og kvalitetskravene til dem vil også blive stadig højere.Så vi er nødt til at finde måder at forbedre udnyttelsesgraden af molybdænmål.Nu vil redaktøren af RSM introducere flere metoder til at forbedre udnyttelsesgraden af sputterende molybdænmål for alle
1. Tilføj elektromagnetisk spole på bagsiden
For at forbedre udnyttelsesgraden af det sputterede molybdænmål kan der tilføjes en elektromagnetisk spole på bagsiden af det plane Magnetron-forstøvningsmolybdænmål, og magnetfeltet på overfladen af molybdænmålet kan øges ved at øge strømmen af den elektromagnetiske spole for at forbedre udnyttelsesgraden af molybdænmålet.
2. Vælg rørformet roterende målmateriale
Sammenlignet med flade mål fremhæver valget af en rørformet roterende målstruktur dets væsentlige fordele.Generelt er udnyttelsesgraden af flade mål kun 30% til 50%, mens udnyttelsesgraden af rørformede roterende mål kan nå over 80%.Desuden, når du bruger det roterende hule rør Magnetron-sputtermål, da målet kan rotere rundt om den faste stangmagnetsamling hele tiden, vil der ikke være nogen genaflejring på overfladen, så det roterende måls levetid er generelt mere end 5 gange længere end flyets mål.
3. Udskift med nyt sputterudstyr
Nøglen til at forbedre udnyttelsesgraden af målmaterialer er at fuldføre udskiftningen af sputterudstyr.Under sputteringsprocessen af molybdænforstøvningsmålmateriale vil omkring en sjettedel af forstøvningsatomerne aflejres på vakuumkammervæggen eller -beslaget efter at være blevet ramt af brintioner, hvilket øger omkostningerne til rengøring af vakuumudstyret og nedetiden.Så udskiftning af nyt forstøvningsudstyr kan også hjælpe med at forbedre udnyttelsesgraden af sputterende molybdænmål.
Indlægstid: 24. maj 2023