Formålet med målrensning er at fjerne eventuelt støv eller snavs på overfladen af målet.Nu vil redaktøren af Rich Special Material Co., LTD.(RSM) dele med dig om de fire trin til at rense metalmål:
Det første trin er at rengøre med en fnugfri blød klud vædet i acetone;
Det andet trin ligner det første trin, rengøring med alkohol;
Trin 3: Rengør med deioniseret vand.Efter at være blevet vasket med deioniseret vand, anbringes målet i en ovn og tørres ved 100 ℃ i 30 minutter.Oxid- og keramiske mål skal rengøres med en "fnugfri klud".
Det fjerde trin er at vaske målet med argon med højt tryk og lav vandgas for at fjerne alle urenhedspartikler, der kan danne en bue i sputtersystemet.
Bemærk: Når du håndterer målet, skal du bære rene og fnugfri vedligeholdelseshandsker for absolut at forhindre direkte kontakt med målet med hånden.
Indlægstid: 24-jun-2022