På nuværende tidspunkt er næsten alle high-end ultra-høj renhed metalkobbermål, der kræves af IC-industrien, monopoliseret af flere store udenlandske multinationale virksomheder.Alle de ultrarene kobbermål, der er nødvendige for den indenlandske IC-industri, skal importeres, hvilket ikke kun er dyrt, men også kompliceret i importprocedurer. Derfor har Kina et presserende behov for at forbedre udviklingen og verifikationen af kobberforstøvningsmål med ultrahøj renhed (6N). .Lad os tage et kig på de vigtigste punkter og vanskeligheder i udviklingen af kobberforstøvningsmål med ultrahøj renhed (6N).
1、Udvikling af materialer med ultra høj renhed
Rensningsteknologien for højrente Cu-, Al- og Ta-metaller i Kina er langt fra den i industrielle udviklede lande.På nuværende tidspunkt kan de fleste af de højrente metaller, der kan leveres, ikke opfylde kvalitetskravene for integrerede kredsløb til sputteringsmål ifølge de konventionelle alle elementanalysemetoder i industrien.Antallet af inkluderinger i målet er for højt eller ujævnt fordelt.Der dannes ofte partikler på waferen under sputtering, hvilket resulterer i kortslutning eller åbent sammenkoblingskredsløb, hvilket alvorligt påvirker filmens ydeevne.
2、Udvikling af kobberforstøvnings-målforberedelsesteknologi
Udviklingen af kobbersputtering-målforberedelsesteknologi fokuserer hovedsageligt på tre aspekter: kornstørrelse, orienteringskontrol og ensartethed.Halvlederindustrien har de højeste krav til sputtering af mål og fordampning af råmaterialer.Den har meget strenge krav til kontrol af overfladekornstørrelsen og krystalorienteringen af målet.Målets kornstørrelse skal kontrolleres til 100μ M nedenfor er derfor kontrollen af kornstørrelse og midlerne til korrelationsanalyse og detektion meget vigtige for udviklingen af metalmål.
3、Udvikling af analyse ogafprøvning teknologi
Den høje renhed af målet betyder reduktion af urenheder.Tidligere blev induktivt koblet plasma (ICP) og atomabsorptionsspektrometri brugt til at bestemme urenheder, men i de senere år er glødeudladningskvalitetsanalyse (GDMS) med højere følsomhed gradvist blevet brugt som standard metode.Resistansforholdet RRR-metoden bruges hovedsageligt til bestemmelse af elektrisk renhed.Dets bestemmelsesprincip er at evaluere renheden af uædle metaller ved at måle graden af elektronisk spredning af urenheder.Fordi det er at måle modstanden ved stuetemperatur og meget lav temperatur, er det nemt at tage tallet.I de senere år, for at udforske essensen af metaller, er forskningen i ultrahøj renhed meget aktiv.I dette tilfælde er RRR-værdi den bedste måde at evaluere renheden på.
Indlægstid: maj-06-2022