For at understøtte den filmbaserede piezoelektriske MEMS (pMEMS) sensor og radiofrekvens (RF) filterkomponentindustri, bruges aluminiumskandiumlegeringen fremstillet af Rich Special Material Co., Ltd. specielt til den reaktive afsætning af scandiumdoterede aluminiumnitridfilm .
Tyndfilms piezoelektriske materialer bruges i stigende grad i bilindustrien, industrielt og personligt elektronisk udstyr.Applikationerne omfatter pmt-baserede fingeraftrykssensorer og gestusgenkendelsesenheder, MEMS-mikrofoner, resonatorbaserede kemiske sensorer og medicinske sensorer.Derudover er der i stigende grad brug for scandium-doterede aluminiumnitridfilm til at realisere RF-filtre til 5G-netværksapplikationer.Samtidig er mængden af aluminiumsskandiumlegering stigende.
Egenskaber af Al Sc Alloy
Meget ensartet kemisk homogenitet i hele legeringen
Meget konsistent filmkemisk homogenitet gennem hele chippens og legeringens levetid
Renhed>99,9%, lavt iltindhold, lavt indhold af kritiske forurenende stoffer
Styr mikrostrukturen strengt for at opnå den bedste sputterydeevne
Vakuumstøbt, fuldt tæt legering med lav vedhæftning, lav variabilitet og lav granularitet
Rich Special Material Co., Ltd. understøtter en række legeringssmeltning, måltilpasning og F&U-tjenester.
Indlægstid: 11-november 2022