Teknisk konsulent for RSM vil dele med dig fordelene ved cylindriske og plane magnetronforstøvningsmål?Sammenlignet med andre magnetronforstøvningsmål bevarer cylindriske og plane magnetronforstøvningsmål fordelene ved god belægningsensartethed af rektangulære plane mål og kan maksimere udnyttelsen af mål på følgende to måder:
(1) Når de to grupper (fire) af ringformede gruber på overfladen af målet når en vis dybde, kan målkernen (magnetdelen) drejes 45° i forhold til målrøret, så andre områder på målrøret der ikke er blevet korroderet, kan bruges;
(2) Når målkernen af det cylindriske og plane magnetronforstøvningsmål er designet som en roterende målkerne (målkernen roterer under sputtering), kan overfladen af målet sputteres jævnt af lag for lag uden fordybninger.På dette tidspunkt vil målet blive brugt mest effektivt, og udnyttelsesgraden af målet kan nå 50% ~ 60% Når målmaterialet er ædelmetal, er dette naturligvis af stor betydning.
Ved at bruge princippet om magnet med polsko i koaksialt cylindrisk magnetronforstøvningsmål for at løse problemet med endemagnetisk felt, kan det rektangulære planmål omdannes til et cylindrisk og plant magnetronforstøvningsmål, Målet kan maksimere målets udnyttelseshastighed samtidig med at den gode belægningsensartethed af det rektangulære planmål bevares for at forbedre de økonomiske fordele.
Indlægstid: Jul-04-2022